在PERC电池技术已成为当前高效电池片生产的主流技术之后，N型高效电池N-PERT在量产转化的路上遇到了一些困难，但TOPCon技术的出现，或许能够解开N型高效电池量产化的难题，且这项技术或许也将是下一代量产型高效电池的一个选择。

  那么我们从两个方面简单认识一下TOPCon电池，上图为TOPCon常见结构。

  从结构方面来看，TOPCon结构分为两层：第一层为超薄Oxide隧穿层，厚度1-2nm，可以通过热氧、化学腐蚀方式形成；第二层是Poly层，可以由LPCVD、PECVD法制备。目前业内普遍认为LPCVD制备Poly膜层更加均匀致密，成膜质量更加优异。

 从性能方面来看，TOPCon结构是一个选择性结构，只允许电子通过，这种结构使得电池具有良好的钝化性能。除此之外，TOPCon结构还需要良好的电性能，就需要在Poly层进行掺杂。目前行业内主要通过过热扩散、离子注入和原位掺杂三种方式来实现TOPCon结构的Poly层掺杂，其中原位掺杂可以由LPCVD设备完成。

 综合来看，LPCVD设备不仅可以把Oxide隧穿层、Poly层、Poly掺杂三种工艺集成起来，通过一台设备实现TOPCon结构制备，还能够降低电池背面金属复合，提高转换效率。因此我们认为LPCVD设备，是帮助N-PERT向N-TOPCon转型的关键设备之一。

北方华创HORIS L8571A型LPCVD设备不仅可以实现超薄Oxide和Poly二合一工艺制备的能力；而且通过高效的成膜速率和精准控温技术缩短了工艺时间；我们还对设备结构进行优化，降低了反应腔室PM周期，并为硅片绕镀提供良好的解决方案；通过该设备制备的薄膜具有优异的致密性和均匀性。

北方华创已在大产能LPCVD上做了长期研究，并与多家客户保持长期合作。北方华创将用一流的技术和品质助力高效电池TOPCon工艺降本提效。

北方华创多年来一直致力于高端光伏装备的研发和制造，坚持工艺是设备的核心竞争力，为解决业界痛点而精准研发。未来北方华创将一如既往，携手业界同仁，为推动光伏行业降本提效而努力。